Автоматичен спектрален елипсометър бе доставен в БАН
сподели статията
27.11.2014
Автоматичен спектрален елипсометър тип М2000Д бе доставен в Института по физика на твърдото тяло, съобщават от Българска академия на науките.
За първи път се доставя подобна апаратура в България, уточняват от БАН. Тя ще бъде използва за оптично характеризиране на тънки диелектрични, полупроводникови, метални и органични слоеве, на многослойни структури и на течни образци.
"Елипсометърът позволява да се извършват измервания и да се определят физичните свойства на свръхтънки слоеве с дебелина под 0,1 нм чрез автоматично сканиране на образците", допълват от БАН.
Системата бе въведена в експлоатация от Инга Потч, инженер във фирмата доставчик ЛОТ Квантум Дизайн.
Първата презентация на възможностите на апаратурата беше проведена на 27 ноември в Интер Експо Център, София по време на срещата с представители на водещи компании с дейност в областта на индустриалната оптика под наслов "Нанофотоника: нова оптична апаратура в ИФТТ-БАН".
Автоматичният спектрален елипсометър е част от оборудването на изграждащия се в момента център по нанотехнологии в Института по физика на твърдото тяло.
Източник: БАН Област: Измервателна техника Технологии
Етикети: автоматичен спектрален елипсометър ИФТТ-БАН индустриалната оптика нанофотоника
|